石墨舟

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

摘要

本实用新型公开了一种石墨舟，包括：通过陶瓷棒串接在一起的一排竖置石墨舟片；石墨舟片上设有：可承载单个竖置硅片的卡点组；同一卡点组中的卡点包括：一设于石墨舟片底部的底卡点，一对设于石墨舟片下部的下卡点，一设于石墨舟片竖向中部的中卡点，以及一对设于石墨舟片上部的上卡点；石墨舟片还设有：用于安装中卡点的条孔；中卡点安装于条孔中，且中卡点可沿条孔滑动。本实用新型石墨舟，其既能承载硅片整片，又能承载该硅片整片所分割出的半片。

基本信息

专利标题：

石墨舟

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920725112.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-05-21

授权号：

CN209641635U

授权日：

2019-11-15

发明人：

罗西佳孟祥熙梅晓东

申请人：

常州时创能源科技有限公司

申请人地址：

江苏省常州市溧阳市溧城镇吴潭渡路8号

代理机构：

代理人：

优先权：

CN201920725112.1

主分类号：

H01L21/673

IPC分类号：

H01L21/673

IPC结构图谱

H部——电学

H01

基本电气元件

H01L

半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件

H01L21/00

专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备

H01L21/67

专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置

H01L21/673

使用专用的载体的

法律状态

2020-04-10 ：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

IPC(主分类) : H01L 21/673
变更事项 : 专利权人
变更前 : 常州时创能源科技有限公司
变更后 : 常州时创能源股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 213300 江苏省常州市溧阳市溧城镇吴潭渡路8号
变更后 : 213300 江苏省常州市溧阳市溧城镇吴潭渡路8号

2019-11-15 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

文件下载

1、

CN209641635U.PDF

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