一种单晶硅棒切割面角度检测装置及开方机

授权

摘要

本实用新型公开了一种单晶硅棒切割面角度检测装置及开方机，所述开方机包括开方机本体及所述单晶硅棒切割面角度检测装置；所述单晶硅棒切割面角度检测装置包括测距传感器、安装座及平移驱动机构；安装座安装于夹持机构的夹持座处，且位于夹持机构所夹持的单晶硅棒下方；平移驱动机构用于驱动测距传感器移动；测距传感器与平移驱动机构连接，且竖直向上朝向单晶硅棒。在完成单晶硅棒的中轴线与夹持机构的对准后，测距传感器则采集第一个间距数据，驱动测距传感器移动一定距离后，采集第二个间距数据，若第一个间距数据和第二个间距数据不一致，则表明需要调整单晶硅棒的角度。本实用新型具有可以检测出单晶硅棒的切割面是否水平的优点。

基本信息

专利标题：

一种单晶硅棒切割面角度检测装置及开方机

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921854091.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-10-31

授权号：

CN210664422U

授权日：

2020-06-02

发明人：

黄奇勋林孝狮黄田玉李元业林剑煌林光展

申请人：

福州天瑞线锯科技有限公司

申请人地址：

福建省福州市闽侯县甘蔗街道南兴路6号

代理机构：

福州市景弘专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

黄以琳

优先权：

CN201921854091.X

主分类号：

G01B21/22

IPC分类号：

G01B21/22 G01B21/20 G01C1/00 B28D5/04 B28D7/04