一种单晶硅棒切割面角度检测装置及开方机

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摘要

本实用新型公开了一种单晶硅棒切割面角度检测装置及开方机，所述开方机包括所述单晶硅棒切割面角度检测装置，所述单晶硅棒切割面角度检测装置包括测量件、竖向驱动机构、纵向驱动机构；竖向驱动机构包括伺服电机、竖向螺杆、连接座及滑轨；滑轨竖向设置于夹持机构的夹持座处；连接座设置有滑块，滑块可竖向滑动地安装于滑轨内；伺服电机设置于夹持机构的夹持座处，且伺服电机的输出轴竖向设置；竖向螺杆与伺服电机的输出轴同轴连接，连接座开设有竖向的螺纹孔，竖向螺杆螺纹传动地穿过连接座的螺纹孔；纵向驱动机构用于驱动测量件移动；测量件与纵向驱动机构连接。本实用新型具有可以检测出单晶硅棒的切割面是否水平的优点。

基本信息

专利标题：

一种单晶硅棒切割面角度检测装置及开方机

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921854368.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-10-31

授权号：

CN210773990U

授权日：

2020-06-16

发明人：

黄奇勋林孝狮黄田玉李元业林剑煌林光展

申请人：

福州天瑞线锯科技有限公司

申请人地址：

福建省福州市闽侯县甘蔗街道南兴路6号

代理机构：

福州市景弘专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

黄以琳

优先权：

CN201921854368.9

主分类号：

G01B21/22

IPC分类号：

G01B21/22 G01B21/20 G01C1/00 B28D5/04 B28D7/04