一种应用于管式PECVD设备的混合加热真空电阻炉
授权
摘要
本实用新型公开了一种应用于管式PECVD设备的混合加热真空电阻炉，包括炉壳、保温棉、外置环形加热体、石英管、端盖和炉门，保温棉和炉壳依次套于石英管外，且石英管两端均位于炉壳和保温棉的外侧，端盖和炉门分设于石英管的两端，石英管两端伸出部分的周面设有保温棉圈和法兰结构，外置环形加热体由电阻丝螺旋绕制而成，套于石英管外且依次由保温棉和炉壳包裹，石英管内壁的底部设有内置加热体，内置加热体包括圆弧固定框和内置电阻丝，内置电阻丝呈蛇形均匀的铺设于圆弧固定框上，圆弧固定框的外壁与石英管的内壁贴合，圆弧固定框的凹面朝向石英管的中心轴。本实用新型具有使工件承载舟加热更快、受热更均匀的优点。
基本信息
专利标题 ：
一种应用于管式PECVD设备的混合加热真空电阻炉
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921856529.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-31
授权号 ：
CN210974870U
授权日 ：
2020-07-10
发明人 ：
李明肖洁曹明旺郭艳成秋云张春成吴得轶
申请人 ：
湖南红太阳光电科技有限公司
申请人地址 ：
湖南省长沙市高新开发区桐梓坡西路586号
代理机构 ：
湖南兆弘专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
戴玲
优先权 ：
CN201921856529.8
主分类号 ：
C23C16/46
IPC分类号 ：
C23C16/46 C23C16/513 C23C16/458
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/46
以加热基体的方法为特征的
法律状态
2020-07-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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