一种制备太阳能薄膜材料的团簇装置
授权
摘要
本实用新型涉及真空镀膜技术领域，且公开了一种制备太阳能薄膜材料的团簇装置，包括进出样室，所述进出样室的左侧设置有P型薄膜材料生长室，所述进出样室的上方设置有I型薄膜材料生长室，所述进出样室的右侧设置有N型薄膜材料生长室，每个两个生长室之间均设置有门阀，所述进出样室、P型薄膜材料生长室、I型薄膜材料生长室、N型薄膜材料生长室上均设置有真空抽气口。本方案一种制备太阳能薄膜材料的团簇装置结构，通过样片传递小车带动样片在进出样室和生长室来回运动，并根据需要在每个生长室掺杂沉积相应的薄膜材料，不会交叉污染，而且不用破坏真空，从而制备出高纯度的太阳能薄膜材料，薄膜材料质量更有保障、生长效率更高。
基本信息
专利标题 ：
一种制备太阳能薄膜材料的团簇装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921871798.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-02
授权号 ：
CN210596249U
授权日 ：
2020-05-22
发明人 ：
邹杨孙蕾邹松东
申请人 ：
洛阳奥尔材料科技有限公司
申请人地址 ：
河南省洛阳市涧西区浅井头一街坊7幢2-402室
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201921871798.1
主分类号 ：
C23C14/56
IPC分类号 ：
C23C14/56 C23C16/54
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/56
连续镀覆的专用设备；维持真空的装置，例如真空锁定器
法律状态
2020-05-22 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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