一种太阳能薄膜制备装置
专利申请权、专利权的转移
摘要

本申请涉及一种太阳能薄膜制备装置,包括腔室、用于密封所述腔室的腔盖和用于启闭所述腔盖的启闭组件;所述启闭组件位于所述腔室上方,用于启闭所述腔盖;所述启闭组件包括驱动件、可转动的摆杆和连接件,所述连接件与所述摆杆的一端连接,所述连接件与所述腔盖可拆卸连接;所述驱动件与所述摆杆的另一端连接,用于驱动所述摆杆转动并带动所述腔盖开启或关闭。避免了在腔盖转移过程中浪费人力物力;而且多个腔室的腔盖可以同时开启,避免了多个腔室依次开启造成的开启效率低下和生产效率低下的问题;再者避免了使用行车开启腔盖时对车间的高度要求,提高了太阳能薄膜制备装置对车间的适用性和应用范围。

基本信息
专利标题 :
一种太阳能薄膜制备装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920931512.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-06-19
授权号 :
CN210245459U
授权日 :
2020-04-03
发明人 :
陆黎华
申请人 :
北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
申请人地址 :
北京市大兴区北京经济技术开发区荣昌东街7号院6号楼3001室
代理机构 :
北京华夏泰和知识产权代理有限公司
代理人 :
韩来兵
优先权 :
CN201920931512.8
主分类号 :
H01L21/67
IPC分类号 :
H01L21/67  H01L31/18  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2021-10-15 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : H01L 21/67
登记生效日 : 20210929
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 深圳正粤开发建设有限公司
变更后权利人 : 上海祖强能源有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 518066 广东省深圳市前海深港合作区前湾一路1号A栋201室(入驻深圳市前海商务秘书有限公司)
变更后权利人 : 201203 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区张江路665号三层
2021-05-11 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : H01L 21/67
变更事项 : 专利权人
变更前 : 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
变更后 : 北京顶荣光伏科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 100176 北京市大兴区北京经济技术开发区荣昌东街7号院6号楼3001室
变更后 : 100076 北京市大兴区瀛海镇镇区瀛顺路9号8号楼6层6015
2021-05-11 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : H01L 21/67
登记生效日 : 20210429
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 北京顶荣光伏科技有限公司
变更后权利人 : 深圳正粤开发建设有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 100076 北京市大兴区瀛海镇镇区瀛顺路9号8号楼6层6015
变更后权利人 : 518066 广东省深圳市前海深港合作区前湾一路1号A栋201室(入驻深圳市前海商务秘书有限公司)
2020-04-03 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332