MEMS麦克风及电子装置
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要
本申请涉及一种MEMS麦克风及电子装置；其中，MEMS麦克风，包括：振动膜；背板，被绝缘支撑于振动膜表面，背板与振动膜构成可变电容；背板开设有若干穿透背板的第一声孔和第二声孔；各第一声孔相互间隔设置、且呈蜂窝状排布；各第二声孔围绕排布各第一声孔的区域外侧设置；第二声孔的尺寸小于第一声孔；振动膜上开设有贯穿振动膜的泄气结构。本申请能够减弱气流集中作用在振动膜的可能，并使得背板获得更强的抗压能力。
基本信息
专利标题 ：
MEMS麦克风及电子装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921888106.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-05
授权号 ：
CN210431879U
授权日 ：
2020-04-28
发明人 ：
魏丹珠闾新明
申请人 ：
中芯集成电路制造（绍兴）有限公司
申请人地址 ：
浙江省绍兴市越城区皋埠镇临江路518号
代理机构 ：
广州华进联合专利商标代理有限公司
代理人 ：
周玲
优先权 ：
CN201921888106.4
主分类号 ：
H04R19/04
IPC分类号 ：
H04R19/04 B81B3/00
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法律状态
2021-08-20 ：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : H04R 19/04
变更事项 : 专利权人
变更前 : 中芯集成电路制造（绍兴）有限公司
变更后 : 绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 312000 浙江省绍兴市越城区皋埠镇临江路518号
变更后 : 312000 浙江省绍兴市越城区皋埠镇临江路518号
变更事项 : 专利权人
变更前 : 中芯集成电路制造（绍兴）有限公司
变更后 : 绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 312000 浙江省绍兴市越城区皋埠镇临江路518号
变更后 : 312000 浙江省绍兴市越城区皋埠镇临江路518号
2020-04-28 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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