MEMS麦克风及电子装置
授权
摘要
本实用新型提供一种MEMS麦克风及电子装置，其中的MEMS麦克风包括具有背腔的衬底以及绝缘设置在衬底上的振膜；振膜包括固定在衬底上的支撑部以及位于支撑部内且悬设在背腔中的感应部；并且，在支撑部与感应部的结合处设置有应力宣泄部。利用上述实用新型，能够通过应力宣泄部抵消部分封装应力，减少封装对振膜造成的影响。
基本信息
专利标题 ：
MEMS麦克风及电子装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922429487.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-27
授权号 ：
CN210986419U
授权日 ：
2020-07-10
发明人 ：
王景雪
申请人 ：
歌尔微电子有限公司
申请人地址 ：
山东省青岛市崂山区松岭路396号103室
代理机构 ：
北京鸿元知识产权代理有限公司
代理人 ：
王迎
优先权 ：
CN201922429487.6
主分类号 ：
H04R19/04
IPC分类号 ：
H04R19/04 H04R3/00
法律状态
2020-07-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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