MEMS麦克风及电子装置
授权
摘要
本实用新型提供一种MEMS麦克风及电子装置，包括具有背腔的衬底以及绝缘设置在衬底上的振膜；其中，振膜包括固定在衬底上的支撑部、位于支撑部内部的感应部以及连接支撑部和感应部的过渡部；其中，支撑部的厚度大于感应部的厚度，过渡部用于支撑部与感应部之间的倾斜过渡。利用上述实用新型，能够兼顾振膜的感度与可靠性特性，减少振膜应力的产生，确保产品具有更加优越的性能。
基本信息
专利标题 ：
MEMS麦克风及电子装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922433142.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-27
授权号 ：
CN210986420U
授权日 ：
2020-07-10
发明人 ：
卓彦萱邱冠勋周宗燐
申请人 ：
歌尔微电子有限公司
申请人地址 ：
山东省青岛市崂山区松岭路396号103室
代理机构 ：
北京鸿元知识产权代理有限公司
代理人 ：
王迎
优先权 ：
CN201922433142.8
主分类号 ：
H04R19/04
IPC分类号 ：
H04R19/04
法律状态
2020-07-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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