一种DLC连续镀膜生产线
专利申请权、专利权的转移
摘要

本实用新型提供了一种DLC连续镀膜生产线,包括呈直线依次连接的进口室、进口缓冲室、进口过渡室、第一工艺室组、隔离室、第二工艺室组、出口过渡室、出口缓冲室和出口室,形成连通的直线通道,以及和所述直线通道平行间隔布置的回架组,所述第一工艺室组和第二工艺室组分别包括多个工艺室,所述回架组包括多个依次衔接的回架。本实用新型的同一生产线上设有不同阴极设备,可在同一生产线上进行多层、连续镀膜,设有回架,通过同一传送机构进行基片传送,实现装载、卸载基片,回架结构简单有效。

基本信息
专利标题 :
一种DLC连续镀膜生产线
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921910378.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-11-07
授权号 :
CN210945763U
授权日 :
2020-07-07
发明人 :
黄乐黄国兴祝海生
申请人 :
黄乐
申请人地址 :
湖南省湘潭市九华经济区盛世路8号
代理机构 :
上海精晟知识产权代理有限公司
代理人 :
张超宇
优先权 :
CN201921910378.X
主分类号 :
C23C14/34
IPC分类号 :
C23C14/34  C23C14/56  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
法律状态
2020-07-21 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : C23C 14/34
登记生效日 : 20200701
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 黄乐
变更后权利人 : 湘潭宏大真空技术股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 411100 湖南省湘潭市九华经济区盛世路8号
变更后权利人 : 411100 湖南省湘潭市九华经济区盛世路8号
2020-07-07 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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