本实用新型公开了一种一体化太赫兹产生与聚焦装置及近场太赫兹扫描系统，包括：太赫兹产生单元、转换单元、聚焦单元和光路管道；所述太赫兹产生单元用于产生太赫兹波；所述转换单元设置于所述太赫兹产生单元的出光光路上，所述转换单元用于将所述太赫兹波转换为平行光束后，将所述平行光束引导出射至所述聚焦单元；所述聚焦单元用于将所述平行光束聚焦至预设位置，且太赫兹产生单元、转换单元和聚焦单元均相应固定在光路管道内外。本实用新型提供的技术方案，通过光路管道将太赫兹产生单元、转换单元和聚焦单元集成固定而实现一体化，实现减小装置体积的目的，使得装置便于在强磁场、极低温等窄空间中使用，在受限空间的测量应用中具有重要意义。