一种金属有机化合物容器
授权
摘要
一种金属有机化合物容器，用于盛放MO源，包括MO源瓶体、进气管路、出气管路、所述进气管路和出气管路的端部均设置有与MOCVD设备连接的连接头，所述连接头和MO源瓶体之间均设置手动阀，其特征在于：所述连接头和手动阀之间设置感应阀，通过控制连接头与MOCVD设备的连接和断开控制感应阀的打开和关闭。本实用新型通过在连接头和手动阀之间增设感应阀，并且在连接头的下端设置感应器，通过感应器感应连接头与MOCVD设备的连接和断开状态，进而控制感应阀的打开和关闭，以确保MO源瓶体内的MO源无法与外界空气接触，进而防止因手动阀误操作而导致的事故。
基本信息
专利标题 ：
一种金属有机化合物容器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922038985.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-23
授权号 ：
CN211057222U
授权日 ：
2020-07-21
发明人 ：
周宏敏王瑜唐超董金矿李政鸿林兓兓张家豪
申请人 ：
安徽三安光电有限公司
申请人地址 ：
安徽省芜湖市经济技术开发区东梁路8号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201922038985.8
主分类号 ：
C23C16/455
IPC分类号 ：
C23C16/455
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/455
向反应室输入气体或在反应室中改性气流的方法
法律状态
2020-07-21 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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