具有伸缩式滑轨的离子镀过渡舱
授权
摘要

本申请公开了一种具有伸缩式滑轨的离子镀过渡舱,包括两个或多个密封箱体、过渡舱、充气装置和真空泵,过渡舱位于两个相邻的密封箱体之间,过渡舱与密封箱体密封固定连接,过渡舱设置有过渡舱门、伸缩式滑轨,过渡舱与补气装置和真空泵通过管道连接,伸缩式滑轨位于过渡舱内,伸缩式滑轨朝两侧密封箱体做水平方向的伸缩式移动。本实用新型通过过渡舱实现在保持密封箱体之间的气氛互不影响的同时,减小了工件转移过程中的抽气量和补气量,由于只对体积较小的过渡舱进行抽真空,箱体内外气压一直保持基本平衡,所以降低了对箱体结构强度的要求。

基本信息
专利标题 :
具有伸缩式滑轨的离子镀过渡舱
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922041293.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-11-24
授权号 :
CN211367780U
授权日 :
2020-08-28
发明人 :
张奕志凌国平王宏涛
申请人 :
浙江大学
申请人地址 :
浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号
代理机构 :
浙江杭州金通专利事务所有限公司
代理人 :
徐关寿
优先权 :
CN201922041293.9
主分类号 :
C25D17/00
IPC分类号 :
C25D17/00  C25D19/00  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C25
电解或电泳工艺;其所用设备
C25D
覆层的电解或电泳生产工艺方法;电铸;工件的电解法接合;所用的装置
C25D17/00
电解镀覆用电解槽的结构件、或其组合件
法律状态
2020-08-28 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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