本实用新型公开了一种电子真空泵腔体定位装置，包括工作台和电子真空泵组件，所述电子真空泵组件具有电机、法兰、下盖板、腔体、转子和上盖板，本实用新型的有益效果在于：通过仿形块上的月牙板与腔体和转子之间的空腔插套配合，以及四销轴依次和腔体、下盖板和法兰顶面上的螺孔插套配合后，压紧机构的压紧柱下压于腔体的顶面，左夹板和右夹板夹持于腔体的外壁后，始终保持夹紧状态，拔出定位组合体，压紧机构复位，采用四颗螺钉同时将上盖板、腔体和下盖板紧固在法兰顶面，再将夹紧机构复位，完成腔体的装配，通过上述装置进行腔体装配时，能精准的控制腔体内壁和转子外壁的间隙，同时机械自动化的操作可满足流水线的批量生产。