一种宽范围残余气体分析系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种宽范围残余气体分析系统,其包括前级泵、分子泵、质谱仪、多功能进样器、电源、控制阀组,所述前级泵和分子泵连接,分子泵和质谱仪连接,多功能进样器安装在质谱仪上,电源分别与控制阀组和前级泵电性连接,控制阀组与多功能进样器连接。本实用新型应对前端压力范围较广,能适应大部分工况压力,省去频繁拆卸设备的操作,大大提高了工作效率。
基本信息
专利标题 :
一种宽范围残余气体分析系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922141817.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-12-04
授权号 :
CN211061466U
授权日 :
2020-07-21
发明人 :
顾鹏
申请人 :
四川宏胜杰机电设备有限公司
申请人地址 :
四川省绵阳市绵山路64号(科学城八区民品综合楼207)
代理机构 :
成都为知盾专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
李汉强
优先权 :
CN201922141817.1
主分类号 :
G01N27/62
IPC分类号 :
G01N27/62
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N27/62
通过测试气体的电离,例如气溶胶;通过测试放电,例如阴极发射
法律状态
2020-07-21 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载