一种宽范围残余气体分析系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种宽范围残余气体分析系统，其包括前级泵、分子泵、质谱仪、多功能进样器、电源、控制阀组，所述前级泵和分子泵连接，分子泵和质谱仪连接，多功能进样器安装在质谱仪上，电源分别与控制阀组和前级泵电性连接，控制阀组与多功能进样器连接。本实用新型应对前端压力范围较广，能适应大部分工况压力，省去频繁拆卸设备的操作，大大提高了工作效率。
基本信息
专利标题 ：
一种宽范围残余气体分析系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922141817.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-04
授权号 ：
CN211061466U
授权日 ：
2020-07-21
发明人 ：
顾鹏
申请人 ：
四川宏胜杰机电设备有限公司
申请人地址 ：
四川省绵阳市绵山路64号(科学城八区民品综合楼207)
代理机构 ：
成都为知盾专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
李汉强
优先权 ：
CN201922141817.1
主分类号 ：
G01N27/62
IPC分类号 ：
G01N27/62
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N27/62
通过测试气体的电离，例如气溶胶；通过测试放电，例如阴极发射
法律状态
2020-07-21 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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