一种可稳定硅源浓度的气动阀门组件
授权
摘要
本实用新型涉及一种可稳定硅源浓度的气动阀门组件，包括与氢气输入端相连的进气阀，所述的进气阀同时连接静态气路和载气气路，所述的静态气路上设置有静态手动阀、静态常开气动阀和静态调压阀，所述的载气气路上设置有常闭气动阀和载气调压阀，所述的静态气路和载气气路同时通入到气源钢瓶中。本实用新型通过设置两个气路，实现动态和静态压力的自动切换，保持动态和静态压力为同一数值，从而达到硅源浓度稳定的目的。
基本信息
专利标题 ：
一种可稳定硅源浓度的气动阀门组件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922183477.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-09
授权号 ：
CN211502324U
授权日 ：
2020-09-15
发明人 ：
李慎重蒋玉龙王震陈华田达晰张银光邓伟马向阳杨德仁
申请人 ：
金瑞泓微电子（衢州）有限公司
申请人地址 ：
浙江省衢州市绿色产业集聚区盘龙南路52号9幢
代理机构 ：
上海泰能知识产权代理事务所
代理人 ：
王亮
优先权 ：
CN201922183477.9
主分类号 ：
F17C13/04
IPC分类号 ：
F17C13/04 F17C5/00
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F17
气体或液体的贮存或分配
F17C
盛装或贮存压缩的、液化的或固化的气体容器；固定容量的贮气罐；将压缩的、液化的或固化的气体灌入容器内，或从容器内排出
F17C
盛装或贮存压缩的、液化的或固化的气体容器；固定容量的贮气罐；将压缩的、液化的或固化的气体灌入容器内，或从容器内排出
F17C13/00
容器或容器装填排放的零部件
F17C13/04
阀的配置和安装
法律状态
2020-09-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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