一种检测玻璃基板表面异物的装置
授权
摘要
本实用新型提供了一种检测玻璃基板表面异物的装置，包括检测装置和用于放置待检测物的平台，所述检测装置包括上料入口单元、加工单元、玻璃基板、激光传感器以及激光反射单元，当玻璃运动检测装置不动时，激光传感器和激光反射单元分别安装于上料入口单元的上方和下方，激光传感器发出的光源被激光反射单元反射回；当玻璃不动检测装置运动时，激光传感器发射出激光，达到激光反射单元上，再由激光反射单元将激光反射回传感器，激光束平行于玻璃基板表面，可以在物料进入的过程中检测，也可以在加工过程中检测，及早发现异物可以提高生产效率，同时避免异物对工艺设备造成损坏。
基本信息
专利标题 ：
一种检测玻璃基板表面异物的装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922183978.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-09
授权号 ：
CN211402177U
授权日 ：
2020-09-01
发明人 ：
孟月石卓余慧陈丽娟
申请人 ：
北京清大天达光电科技股份有限公司
申请人地址 ：
北京市平谷区马坊镇金马北街61号院2号楼1至2层101
代理机构 ：
北京挺立专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
叶树明
优先权 ：
CN201922183978.7
主分类号 ：
G01N21/94
IPC分类号 ：
G01N21/94
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
G01N21/88
测试瑕疵、缺陷或污点的存在
G01N21/94
研究污染，例如灰尘
法律状态
2020-09-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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