一种长条高真空阴极电弧靶装置

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摘要

本实用新型公开了一种长条高真空阴极电弧靶装置，真空室用于放置长条高真空阴极电弧靶装置，包括：主支撑架、阳极、阴极靶材、屏蔽电极、第一屏蔽环、永磁体、触发电极和旋转部件；主支撑架上安装所述旋转部件；旋转部件与阴极靶材固定连接，并进行旋转动作；阳极与主支撑架连接；第一屏蔽环固定在阳极上，屏蔽阴极靶材和真空室；屏蔽电极包裹阴极靶材，并且阴极靶材的内部设置有永磁体；触发电极安装在屏蔽电极上，并且触发电极与触发电源电性连接。本实用新型提供了一种长条高真空阴极电弧靶装置，实现其能在高真空下稳定、可靠的弧光放电，同时大幅减低起弧时因温度过高而带来的颗粒喷射和提高阴极寿命。

基本信息

专利标题：

一种长条高真空阴极电弧靶装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922187835.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-09

授权号：

CN211814630U

授权日：

2020-10-30

发明人：

廖斌华青松何光宇欧阳晓平罗军陈琳张旭吴先映庞盼韩然英敏菊

申请人：

北京师范大学;稳力（广东）科技有限公司

申请人地址：

北京市海淀区新街口外大街19号

代理机构：

北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙)

代理人：

曹鹏飞

优先权：

CN201922187835.3

主分类号：

C23C14/32

IPC分类号：

C23C14/32