一种真空镀膜设备电弧阴极翻转机构

专利权的终止

摘要

本实用新型公开了一种真空镀膜设备电弧阴极翻转机构，包括壳体，所述壳体开口处的底壁固定连接有导轨，所述导轨上活动连接有底座，所述壳体内顶壁的中部固定连接有安装座，且安装座的底壁固定连接有阴极板，所述阴极板的底壁安装有靶材，所述阴极板底部的左侧开设有L形的卡接孔，所述靶材的左端通过转轴贯穿卡接孔与阴极板活动连接，所述靶材的右端开始有圆柱槽，且圆柱槽内固定连接有复位弹簧。本实用新型涉及真空镀膜技术领域。该真空镀膜设备电弧阴极翻转机构，通过设置有翻转机构，实现了将靶材自动拆卸安装，无需操作人员手工操作，降低了劳动强度，提高了工作效率，同时避免了高处作业，解决了安全隐患。

基本信息

专利标题：

一种真空镀膜设备电弧阴极翻转机构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921711314.7

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-10-14

授权号：

CN210886197U

授权日：

2020-06-30

发明人：

常江常满陈国奇汪洋

申请人：

成都市江泰真空镀膜科技有限公司

申请人地址：

四川省成都市武侯区高新区永丰路22号

代理机构：

代理人：

优先权：

CN201921711314.7

主分类号：

C23C14/32

IPC分类号：

C23C14/32 C23C14/56