一种APCVD履带刻蚀自动加酸装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种APCVD履带刻蚀自动加酸装置，包括主液桶和刻蚀酸桶，主液桶依次连接泵、气动阀和刻蚀酸桶，气动阀经由电磁阀连接打液开关；其中，泵连接有控制泵启动的继电器，电磁阀连接得电导通的继电器，控制泵启动的继电器和与电磁阀连接的继电器分别连接PLC输出端；刻蚀酸桶上安装有上限位传感器和下限位传感器；该两个传感器分别与PLC输入端连接。采用本实用新型的自动加酸装置，在APCVD履带刻蚀加酸过程中，操作人员只需一个按键便可完成一个月的所需加酸量，整个操作过程简单，一键操作便可完成，对于初次使用人员也十分方便。可以更加安全可靠的进行加酸，有专门的保障系统防止有酸外漏。
基本信息
专利标题 ：
一种APCVD履带刻蚀自动加酸装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922205818.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-10
授权号 ：
CN211521565U
授权日 ：
2020-09-18
发明人 ：
赵晶姜振虎吴迪陈信孙超刘义邓建忠张西标
申请人 ：
山东有研半导体材料有限公司
申请人地址 ：
山东省德州市经济技术开发区袁桥镇东方红东路6596号（中元科技创新创业园）A座921室
代理机构 ：
北京北新智诚知识产权代理有限公司
代理人 ：
刘秀青
优先权 ：
CN201922205818.8
主分类号 ：
B67C3/30
IPC分类号 ：
B67C3/30 C23C16/44
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B67
开启或封闭瓶子、罐或类似的容器；液体的贮运
B67C
不包含在其他类目中的瓶子、罐、罐头、木桶、桶或类似容器的灌注液体或半液体或排空；漏斗
B67C3/00
液体或半液体注入瓶中；用瓶子或类似器皿将液体或半液体注入罐或罐头内；将液体或半液体注入木桶内或桶内
B67C3/30
桶或木桶的灌注
法律状态
2020-09-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
