具有加热功能的履带刻蚀腔
授权
摘要
本实用新型涉及一种具有加热功能的履带刻蚀腔。具体说，是用来除去履带上二氧化硅薄膜的具有加热功能的履带刻蚀腔。其含有腔体。所述腔体由平板和平板一面四周的腔壁而构成，所述平板上均布有喷气孔。所述腔壁的内侧面上有周向台阶，周向台阶之外依次有内封板和外封板，内封板和外封板上均有进气孔，其特点是：内封板与外封板间有加热片。所述加热片的面积小于内封板，其贴合在与外封板相邻的内封板一面上，其上有与所述进气孔相应的通孔。采用本实用新型，可提高反应效率，能完全除去履带上的多余二氧化硅薄膜。适用于常压式化学气相沉积机上。
基本信息
专利标题 ：
具有加热功能的履带刻蚀腔
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021220206.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-29
授权号 ：
CN212955343U
授权日 ：
2021-04-13
发明人 ：
刘招林
申请人 ：
无锡柏斯威科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市十八湾路288号湖景科技园20号-2
代理机构 ：
无锡大扬专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
郭丰海
优先权 ：
CN202021220206.2
主分类号 ：
C23C16/56
IPC分类号 ：
C23C16/56
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/56
后处理
法律状态
2021-04-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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