本发明公开了一种具有自清洁功能的蓝宝石刻蚀设备，涉及蓝宝石刻蚀技术领域；为了提高自清洁的效率；包括支撑座、刻蚀工艺箱组件、中转箱组件、装载箱组件、实心铝盘主体、传输机构和清洁机构，所述清洁机构包括温控自清洁箱、旋转组件、清洗组件和涮洗组件；所述旋转组件包括齿环、驱动电机、连杆、旋转柱、圆形杆、护板、载盘架、弹簧、旋转盘、延伸杆和旋转杆。本发明利用载盘架可以对实心铝盘主体进行放置，驱动电机驱动摇臂旋转，使得摇臂带动齿轮旋转的过程中，利用齿环使得旋转柱进行自转，实心铝盘主体在自转的过程中，可以保证清洗组件对实心铝盘主体上的不同位置和区域均可以进行清洁，提高清洁效果。