刻蚀设备
授权
摘要
本实用新型提供一种刻蚀设备，其包括：大气传送腔，用于容纳被刻蚀物；气体加热装置，设置在所述大气传送腔的进气口处，外界气体能够经所述气体加热装置加热后进入所述大气传送腔，以使所述大气传送腔的腔内温度升高，传送机械手臂，设置在所述大气传送腔内，用于传送被蚀刻物。本实用新型刻蚀设备的大气传送腔的腔内温度被升高，能够避免被刻蚀物四周产生水汽，且也能够避免刻蚀反应产生的残余气体低温固化，进而防止被刻蚀物被污染，同时也能够提高刻蚀设备的寿命。
基本信息
专利标题 ：
刻蚀设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920862026.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-10
授权号 ：
CN209785874U
授权日 ：
2019-12-13
发明人 ：
潘磊
申请人 ：
长鑫存储技术有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市蜀山区经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室
代理机构 ：
上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
孙佳胤
优先权 ：
CN201920862026.5
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32 H01L21/67
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2019-12-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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