一种用于微电子半导体的电阻检测装置
授权
摘要

本实用新型提供一种用于微电子半导体的电阻检测装置,包括底座,底座的上端一侧安装有支撑板,支撑板的一侧与移动装置连接,移动装置远离支撑板的一侧与顶板的一端连接,顶板的下端一侧安装有检测筒,检测筒的下端安装有检测头,底座的上端且位于支撑板的一侧安装有工作台,工作台的上端安装有固定装置,固定装置的内侧设有半导体本体,其中,移动装置包括两组滑杆,两组滑杆的上端与固定板一连接,两组滑杆的下端与固定板二连接,并且,顶板位于滑杆上且位于固定板一及固定板二之间,顶板的下端且位于两组滑杆之间设有伸缩气缸,伸缩气缸、固定板一及固定板二均位于支撑板的一侧,检测筒垂直于顶板设置,并且,检测头位于半导体本体的上方。

基本信息
专利标题 :
一种用于微电子半导体的电阻检测装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922219080.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-12-06
授权号 :
CN211374836U
授权日 :
2020-08-28
发明人 :
徐惠超
申请人 :
徐惠超
申请人地址 :
上海市闵行区莘潭路76弄2号502室
代理机构 :
上海尚象专利代理有限公司
代理人 :
徐炫
优先权 :
CN201922219080.0
主分类号 :
G01R1/04
IPC分类号 :
G01R1/04  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01R
测量电变量;测量磁变量
G01R1/00
包括在G01R5/00至G01R13/00或G01R31/00组中的各类仪器或装置的零部件
G01R1/02
一般结构零部件
G01R1/04
外壳;支承构件;端子装置
法律状态
2020-08-28 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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