一种改进型磷扩散炉

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摘要

本实用新型涉及太阳能电池片的制造领域，尤其是涉及的是一种改进型磷扩散炉，包括：扩散炉炉体、气源装置、尾气收集装置，所述扩散炉炉体的头部设置有炉门，所述扩散炉炉体的内部设置有炉管，所述气源装置与扩散炉炉体连通且为扩散炉炉体提供气源，所述尾气收集装置与扩散炉炉体连通，以收集扩散炉炉体内的尾气，所述气源装置以不同气体流速的多个气路为扩散炉炉体提供气源。本实用新型结构简单，有效地避免了三氯氧磷热分解过程中的中间产物对扩散炉的腐蚀及炉管尾的堵塞，大大延长了扩散炉的使用寿命。

基本信息

专利标题：

一种改进型磷扩散炉

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922245564.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-13

授权号：

CN212128340U

授权日：

2020-12-11

发明人：

孙锦国戴亮亮柯雨馨梁兴芳

申请人：

阳光中科（福建）能源股份有限公司

申请人地址：

福建省泉州市泉州（南安）光电信息产业基地

代理机构：

泉州劲翔专利事务所(普通合伙)

代理人：

林枫

优先权：

CN201922245564.2

主分类号：

C30B31/08

IPC分类号：

C30B31/08 C30B31/16