一种改进型油扩散泵组
授权
摘要
本实用新型提供了一种改进型油扩散泵组，一种改进型油扩散泵组，油扩散泵组设置的数量至少为三组，包括油扩散泵组一、油扩散泵组二和油扩散泵组三，油扩散泵组一、油扩散泵组二和油扩散泵组三均包括依次设置的扩散泵出口管一、波纹管和扩散泵出口管二。本实用新型通过波纹管的设置，使得抽真空频率佳，波纹管在抽真空的工作过程中起到减震的作用。再通过在波纹管上设置有支撑结构，该支撑结构为胶圈、卡钳螺栓和波纹管撑杆，通过上述结构的设置，使得在长期工作过程中，对波纹管有保护的作用，防止波纹管被压且损坏，波纹管结构稳固，使用寿命延长。
基本信息
专利标题 ：
一种改进型油扩散泵组
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922280881.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-18
授权号 ：
CN211814639U
授权日 ：
2020-10-30
发明人 ：
赵金彬曹赤鹏黄武华朱慧明
申请人 ：
嘉兴鹏翔包装材料有限公司
申请人地址 ：
浙江省嘉兴市桐乡市屠甸镇天才路198号
代理机构 ：
嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
王家蕾
优先权 ：
CN201922280881.8
主分类号 ：
C23C14/56
IPC分类号 ：
C23C14/56
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/56
连续镀覆的专用设备；维持真空的装置，例如真空锁定器
法律状态
2020-10-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
