一种半导体清洗快速吹干装置

授权

摘要

本实用新型公开了一种半导体清洗快速吹干装置，包括箱体、箱门、把手、铰接件、万向轮、过滤网、空气过滤器、支撑件、扇叶、电机底板、电机、电机固定板、半导体放置槽、漏水孔、间隔槽、滑轨、滑边、吸水槽、把手、半导体抽屉、吸水抽屉、吸水性树脂、小风机、大风机、风罩和风管；本实用新型通过滑轨、滑边、半导体抽屉、吸水抽屉、大风机、小风机和吸水性树脂的结构设计,实现大批量常温风干的功能，解决了传统热烘干导致半导体元器件损坏的问题，提高了批量半导体吹干的效率；通过过滤网、空气过滤器、风管、大风机和小风机的结构设计,实现过滤干净空气和循环利用干净风吹干的功能，节约了电力资源和环境成本。

基本信息

专利标题：

一种半导体清洗快速吹干装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922257563.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-16

授权号：

CN211265414U

授权日：

2020-08-14

发明人：

马研

申请人：

长杰斯（苏州）自动化科技有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市工业园区科成路2号瑞苏科技园2号楼202室

代理机构：

代理人：

优先权：

CN201922257563.X

主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01L21/67