一种刻蚀槽用匀流板及刻蚀槽
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要
本实用新型公开了一种刻蚀槽用匀流板及刻蚀槽,其属于光伏电池加工装置技术领域,该刻蚀槽用匀流板包括板体,所述板体上开设有多个匀流孔,所述匀流孔包括相连通的进液孔和出液孔,所述进液孔的横截面的面积小于所述出液孔的横截面的面积;沿所述出液孔远离所述进液孔的方向,所述出液孔呈横截面面积逐渐增大的喇叭状。本实用新型使得出液孔侧的液压小于进液孔侧的液压,如此设置,能够使得药液以散发式的喷射方式进入到刻蚀槽内,使得药液混合地更加均匀,从而提高刻蚀槽内对硅片刻蚀的均匀性。
基本信息
专利标题 :
一种刻蚀槽用匀流板及刻蚀槽
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922351736.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-12-24
授权号 :
CN210805808U
授权日 :
2020-06-19
发明人 :
张临安
申请人 :
苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市高新区鹿山路199号
代理机构 :
北京品源专利代理有限公司
代理人 :
胡彬
优先权 :
CN201922351736.4
主分类号 :
H01L31/18
IPC分类号 :
H01L31/18 H01L21/67
法律状态
2021-03-12 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : H01L 31/18
变更事项 : 专利权人
变更前 : 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司
变更后 : 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 215129 江苏省苏州市高新区鹿山路199号
变更后 : 215129 江苏省苏州市高新区鹿山路199号
变更事项 : 专利权人
变更前 : 阿特斯阳光电力集团有限公司
变更后 : 阿特斯阳光电力集团股份有限公司
变更事项 : 专利权人
变更前 : 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司
变更后 : 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 215129 江苏省苏州市高新区鹿山路199号
变更后 : 215129 江苏省苏州市高新区鹿山路199号
变更事项 : 专利权人
变更前 : 阿特斯阳光电力集团有限公司
变更后 : 阿特斯阳光电力集团股份有限公司
2020-06-19 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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