MEMS传感器防吸膜结构及MEMS传感器
授权
摘要
本实用新型公开一种MEMS传感器防吸膜结构及MEMS传感器，该MEMS传感器防吸膜结构包括：防水膜、固定胶和支撑挡板，防水膜通过固定胶固定在支撑挡板上，支撑挡板上设置有多个通孔，支撑挡板靠近防水膜的表面上设置有多个凸起部。本实用新型旨在防止MEMS传感器的防尘防水膜吸附到支撑挡板上，从而避免出现因防水膜吸膜导致的传感器性能下降甚至失效的情况。
基本信息
专利标题 ：
MEMS传感器防吸膜结构及MEMS传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922439016.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-30
授权号 ：
CN211047213U
授权日 ：
2020-07-17
发明人 ：
曹曙明吴安生
申请人 ：
歌尔微电子有限公司
申请人地址 ：
山东省青岛市崂山区松岭路396号103室
代理机构 ：
潍坊正信致远知识产权代理有限公司
代理人 ：
王秀芝
优先权 ：
CN201922439016.3
主分类号 ：
H04R19/00
IPC分类号 ：
H04R19/00
法律状态
2020-07-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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