一种晶圆动态测试治具
授权
摘要
本实用新型公开了一种晶圆动态测试治具，包括测试台、吸盘座、移动槽、导块、定位柱、气缸、推板、斜板、复位弹簧、活塞头、推杆、活塞筒和连块，所述测试台顶面等距安装有吸盘座，且吸盘座底口连接固定有活塞筒，所述测试台内部位于吸盘座对应位置安装有气缸，且气缸输出端固定有推杆，所述活塞筒内配合设有活塞头，且推杆与活塞头固定连接，所述测试台表面位于吸盘座侧边对称开设有四个移动槽，且移动槽内滑动卡接有导块，此晶圆动态测试治具通过气缸的驱动，配合斜面推动使定位柱推动晶圆聚中，实现精准放置，配合活塞头的收缩使吸盘座对晶圆稳定吸附固定，装置结构简单，晶圆定位精确稳定，提高晶圆检测的稳定性。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆动态测试治具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922445385.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-30
授权号 ：
CN211589854U
授权日 ：
2020-09-29
发明人 ：
郑东来缪小波
申请人 ：
江苏嘉兆电子有限公司
申请人地址 ：
江苏省南通市海门市临江镇洞庭湖路100号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201922445385.3
主分类号 ：
B25B11/00
IPC分类号 ：
B25B11/00 G01R1/04 B25H1/08
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B25
手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手
B25B
不包含在其他类目中的用于紧固、连接、拆卸或夹持的工具或台式设备
B25B11/00
不包含在B25B1/00至B25B9/00各组中的工件夹持装置或定位装置，例如，磁性工件夹持装置、真空夹持装置
法律状态
2020-09-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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