晶圆盒出货包装检验装置
授权
摘要
本实用新型提供的晶圆盒出货包装检验装置，包括：包装桌，所述包装桌包含桌面；摄像单元，所述摄像单元用以检验所述晶圆盒；安装支架，所述安装支架装配至所述桌面上，所述安装支架连接所述摄像单元。据此，能够稳定的固定摄像单元，并且通过电子控制分离机械操作(点击按钮)和摄像单元，使得拍照不再抖动，并且能够及时将照片传输给电脑，从而能够实时检查照片是否符合要求，不需要在两处进行操作，减少了中间环节，提高了工作效率。
基本信息
专利标题 ：
晶圆盒出货包装检验装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922456782.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-30
授权号 ：
CN211178562U
授权日 ：
2020-08-04
发明人 ：
谭孝林瞿丹红曹亚峰
申请人 ：
上海华力集成电路制造有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区良腾路6号
代理机构 ：
上海浦一知识产权代理有限公司
代理人 ：
郭立
优先权 ：
CN201922456782.0
主分类号 ：
G01D21/00
IPC分类号 ：
G01D21/00 G01N21/95 A47B37/00 A47B13/08 A47B97/00 B65B57/02 B65B57/04
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01D
非专用于特定变量的测量；不包含在其他单独小类中的测量两个或多个变量的装置；计费设备；非专用于特定变量的传输或转换装置；未列入其他类目的测量或测试
G01D21/00
未列入其他类目的测量或测试
法律状态
2020-08-04 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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