一种晶圆检验治具及晶圆检验设备
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要
本实用新型涉及半导体晶圆检验的技术领域,提供了一种晶圆检验治具及晶圆检验设备,其中晶圆检验治具包括:环形本体,设有用于承载待检验的晶圆的检验面,环形本体的中部设有贯穿检验面的检验孔,检验面的外围尺寸与待检验的晶圆匹配,晶圆放置于环形本体时,晶圆的背面暴露于检验孔中;以及磁性件,设于检验面上,用于与晶圆的固定框磁性相吸;晶圆检验设备包括上述的晶圆检验治具;通过采用上述技术方案,将承载有晶圆的晶圆检验治具放置于载物盘时,晶圆的背面与载物盘之间由于有环形本体的阻隔,两者之间存在间隙,避免了晶圆的背面与载物盘直接接触,减少载物盘划伤晶圆背面的可能,降低了晶圆被污染的风险。
基本信息
专利标题 :
一种晶圆检验治具及晶圆检验设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022344623.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-10-20
授权号 :
CN213422996U
授权日 :
2021-06-11
发明人 :
赖辰辰李天文杨再林李安平
申请人 :
深圳米飞泰克科技有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市龙岗区宝龙街道清风大道28号安博科技厂区1号厂房1、5、6层
代理机构 :
深圳中一联合知识产权代理有限公司
代理人 :
曾文洪
优先权 :
CN202022344623.4
主分类号 :
G01N21/84
IPC分类号 :
G01N21/84 G01N21/01 H01L21/683
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段,即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
法律状态
2022-03-01 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : G01N 21/84
变更事项 : 专利权人
变更前 : 深圳米飞泰克科技有限公司
变更后 : 深圳米飞泰克科技股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 518000 广东省深圳市龙岗区宝龙街道清风大道28号安博科技厂区1号厂房1、5、6层
变更后 : 518000 广东省深圳市龙岗区宝龙街道清风大道28号安博科技厂区1号厂房1、5、6层
变更事项 : 专利权人
变更前 : 深圳米飞泰克科技有限公司
变更后 : 深圳米飞泰克科技股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 518000 广东省深圳市龙岗区宝龙街道清风大道28号安博科技厂区1号厂房1、5、6层
变更后 : 518000 广东省深圳市龙岗区宝龙街道清风大道28号安博科技厂区1号厂房1、5、6层
2021-06-11 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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