一种半导体设备用的恒温循环装置
授权
摘要
本实用新型提出了一种半导体设备用的恒温循环装置，包括外箱体、水箱、泵和换热器，水箱内部装有循环液，水箱的顶部设置有进水口，所述进水口上安装有过滤器，水箱的底部设置有出水口，所述出水口处设置有出水阀，所述泵的底部设置有出水口和进水口，所述换热器上设置有循环液进水口、循环液出水口、冷水进水口和冷水出水口；所述出水阀连接泵的进水口，泵的出水口连接连接换热器的循环液进水口，换热器的循环液出水口连接所述过滤器；所述冷水进水口连接设备水供水管，所述冷水出水口连接设备水回水管。本实用新型装置通过循环液为半导体设备降温，循环液的温度和水阻值比较稳定且满足需求，降温效果更好。
基本信息
专利标题 ：
一种半导体设备用的恒温循环装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922468557.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-31
授权号 ：
CN211503311U
授权日 ：
2020-09-15
发明人 ：
潘鸿当赵一航周明辉
申请人 ：
河北艾法茨科技有限公司
申请人地址 ：
河北省石家庄市高新区湘江道319号天山科技工业园3号楼3单元403室
代理机构 ：
北京中企鸿阳知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
汪斌
优先权 ：
CN201922468557.9
主分类号 ：
F25B21/02
IPC分类号 ：
F25B21/02 F25B43/00 F25B49/00 F25B41/00
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F25
制冷或冷却；加热和制冷的联合系统；热泵系统；冰的制造或储存；气体的液化或固化
F25B
制冷机，制冷设备或系统；加热和制冷的联合系统；热泵系统
F25B
制冷机，制冷设备或系统；加热和制冷的联合系统；热泵系统
F25B21/00
应用电或磁效应的制冷机器、装置或系统
F25B21/02
应用珀耳贴效应；应用能斯特—厄廷豪森效应
法律状态
2020-09-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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