本实用新型提出了一种半导体设备用的恒温循环装置，包括外箱体、水箱、压缩机、泵、冷凝器、换热器、控制板，水箱内部装有循环液，水箱的顶部设置有进水口，水箱的底部设置有出水口，泵的底部设置有出水口和进水口，水箱出水口连接泵进水口，换热器上设置有循环液进水口、循环液出水口、冷媒进口和冷媒出口；换热器的循环液出水口连接水箱进水口；冷媒进气口连接膨胀阀，膨胀阀连接冷凝器出气口，冷凝器的进气口连接压缩机吐出口，冷媒出口连接压缩机的吸入口，泵和压缩机由控制板控制启停，膨胀阀由控制板控制开度。本实用新型装置通过循环液为电子、半导体、激光等设备降温，循环液的温度比较稳定且满足需求，降温效果更好。