一种检测光源和检测系统
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要

本实用新型涉及一种检测光源和一种检测系统,检测光源包括:壳体,壳体具有:用以形成壳体的部分壳壁的安装基板和与安装基板相对的出光口;若干个光源,各光源分布在安装基板上,且各光源的射出方向朝向出光口设置,各光源均为光纤光源;匀光装置,设在安装基板与出光口之间,和/或设在出光口内。检测光源将各个光源设置在壳体的安装基板上,各光源内的光线沿出光口射出,各光线的射出角度均不同,沿着安装基板的径向方向分布,可以对曲面的晶圆的各表面进行均匀的照射,匀光装置可以将各光源出射的光线均匀化,实现晶圆的均匀检测;光源采用光纤光源,光纤光源在工作时不会产生热量,避免壳体内部热量过高而导致部件损坏。

基本信息
专利标题 :
一种检测光源和检测系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922479172.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-12-31
授权号 :
CN212159608U
授权日 :
2020-12-15
发明人 :
刘健鹏张鹏斌范铎陈鲁
申请人 :
深圳中科飞测科技有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301
代理机构 :
广州华进联合专利商标代理有限公司
代理人 :
刘宁
优先权 :
CN201922479172.2
主分类号 :
G01N21/95
IPC分类号 :
G01N21/95  G01N21/01  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段,即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
G01N21/88
测试瑕疵、缺陷或污点的存在
G01N21/95
特征在于待测物品的材料或形状
法律状态
2021-02-19 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : G01N 21/95
变更事项 : 专利权人
变更前 : 深圳中科飞测科技有限公司
变更后 : 深圳中科飞测科技股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 518100 广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301
变更后 : 518110 广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301
2020-12-15 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332