用于MEMS设备的电介质梳
授权
摘要
麦克风包括限定了腔的壳体、被定位在腔内的多个导体、被定位在腔内的至少一个电介质棒以及换能器振膜。导体被构造成在壳体保持固定的同时响应于压力变化而移动。第一导体响应于由大气压变化引起的压力变化而生成第一电信号。第二导体响应于由声活动引起的压力变化而生成第二电信号。电介质棒相对于腔是固定的，并且在压力变化下保持固定。电介质棒与导体中的至少一个导体相邻。响应于为大气压和/或声压的作用压力，换能器振膜在壳体上施加力，并且使导体的至少一部分相对于电介质棒移位。
基本信息
专利标题 ：
用于MEMS设备的电介质梳
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112088539A
申请号 ：
CN201980029967.3
公开（公告）日 ：
2020-12-15
申请日 ：
2019-03-20
授权号 ：
CN112088539B
授权日 ：
2022-06-03
发明人 ：
M·纳瓦扎S·舒伯姆D·谢弗M·佩德森C·弗斯特M·沙扬J·切赫
申请人 ：
美商楼氏电子有限公司
申请人地址 ：
美国伊利诺伊州
代理机构 ：
北京三友知识产权代理有限公司
代理人 ：
刘爱勤
优先权 ：
CN201980029967.3
主分类号 ：
H04R19/04
IPC分类号 ：
H04R19/04 B81B3/00 H04R19/00 G01L9/00
法律状态
2022-06-03 ：
授权
2021-01-26 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H04R 19/04
申请日 : 20190320
申请日 : 20190320
2020-12-15 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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