真空贴合装置
公开
摘要
真空贴合装置具备：真空腔室，其在内部将第一构件与第二构件贴合；减压装置，其对真空腔室内的气压进行减压；第一工作台，其固定第一构件；第二工作台，其固定第二构件；多个驱动轴，其与第二工作台连接；工作台驱动部，其通过使多个驱动轴移动来使第二工作台的位置变化；以及位置测定部，其设置于真空腔室的外部，在多个部位测定第一工作台与第二工作台的间隔距离。工作台驱动部使用在减压装置使真空腔室内成为真空之前由位置测定部测定出的工作台的间隔距离的信息、以及在减压装置使真空腔室内成为真空之后由位置测定部测定出的工作台的间隔距离的信息，分别独立地决定使多个驱动轴移动的距离。
基本信息
专利标题 ：
真空贴合装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114616612A
申请号 ：
CN201980101756.6
公开（公告）日 ：
2022-06-10
申请日 ：
2019-10-28
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
小仓基诚森田久人平本久人
申请人 ：
松下知识产权经营株式会社
申请人地址 ：
日本大阪府
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
刘文海
优先权 ：
CN201980101756.6
主分类号 ：
G09F9/00
IPC分类号 ：
G09F9/00 G02F1/13 G02F1/1333 G06F3/041
IPC结构图谱
G
G部——物理
G09
教育；密码术；显示；广告；印鉴
G09F
显示；广告；标记；标签或铭牌；印鉴
G09F9/00
采用选择或组合单个部件在支架上建立信息的可变信息的指示装置（其中可变信息永久性的连接在可动支架上的入G09F11/00
法律状态
2022-06-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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