二苯乙炔自组装在金属单晶表面制备纳米材料层的方法
授权
摘要
本发明提拱了一种基于二苯乙炔分子自组装制备二维孔状纳米材料的方法。本发明的目的是为了在超高真空条件下，利用二苯乙炔分子自组装在单晶表面制备具有均匀孔状结构的二维纳米材料。本发明方法：步骤一：对金属单晶衬底进行氩离子溅射，然后退火，并重复溅射、退火的过程；步骤二：将步骤一处理好的金属单晶置于超高真空制备腔，加热至50℃‑53℃，然后将二苯乙炔分子在室温条件下沉积在金属单晶表面，沉积时间为3s‑5s,进行二维孔状纳米材料的制备，本发明方法工艺简单，并且可以得到孔状结构均匀的纳米材料。孔径大小为3.37nm‑3.46nm，孔壁厚度为0.7nm‑1.2nm，高度为115pm‑125pm，覆盖率可达到18％‑30％。
基本信息
专利标题 ：
二苯乙炔自组装在金属单晶表面制备纳米材料层的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN113136548A
申请号 ：
CN202010051352.5
公开（公告）日 ：
2021-07-20
申请日 ：
2020-01-17
授权号 ：
CN113136548B
授权日 ：
2022-05-31
发明人 ：
卢慧鄂文龙马志博杨学明
申请人 ：
中国科学院大连化学物理研究所
申请人地址 ：
辽宁省大连市中山路457-41号
代理机构 ：
沈阳科苑专利商标代理有限公司
代理人 ：
马驰
优先权 ：
CN202010051352.5
主分类号 ：
C23C14/12
IPC分类号 ：
C23C14/12 C23C14/02
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/06
以镀层材料为特征的
C23C14/12
有机材料
法律状态
2022-05-31 ：
授权
2021-08-06 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/12
申请日 : 20200117
申请日 : 20200117
2021-07-20 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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