单晶硅片表面氨基硅烷－稀土纳米薄膜的制备方法
专利权的终止
摘要
本发明涉及一种单晶硅片表面氨基硅烷－稀土纳米薄膜的制备方法，首先将表面经过纳米氧化铈抛光的单晶硅片浸泡在王水中，在120℃下加热5～6个小时，再用去离子水反复冲洗并干燥。将处理后的单晶硅片浸入配制好的氨基硅烷溶液中，静置12小时，取出后分别用无水甲醇、去离子水冲洗，用氮气吹干后再置于由乙醇65～80％，稀土化合物3.5～7％，乙二胺四乙酸1～4％，氯化铵2～5％，尿素10～25％，37％的浓盐酸0.5～1.5％配制的稀土自组装溶液中，获得氨基硅烷－稀土纳米薄膜。本发明工艺简单，成本低，对环境无污染，制得的稀土纳米薄膜分布均匀，成膜致密，具有明显的减摩作用和良好的抗磨损和抗粘着性能。
基本信息
专利标题 ：
单晶硅片表面氨基硅烷－稀土纳米薄膜的制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1830859A
申请号 ：
CN200610024981.9
公开（公告）日 ：
2006-09-13
申请日 ：
2006-03-23
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
程先华顾勤林白涛蒋喆
申请人 ：
上海交通大学
申请人地址 ：
200240上海市闵行区东川路800号
代理机构 ：
上海交达专利事务所
代理人 ：
毛翠莹
优先权 ：
CN200610024981.9
主分类号 ：
C03C17/42
IPC分类号 ：
C03C17/42 C03C17/30
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C03
玻璃；矿棉或渣棉
C03C
玻璃、釉或搪瓷釉的化学成分；玻璃的表面处理；由玻璃、矿物或矿渣制成的纤维或细丝的表面处理；玻璃与玻璃或与其他材料的接合
C03C17/00
纤维或丝之外玻璃，例如微晶玻璃的涂覆法表面处理
C03C17/34
用至少两种不同成分的涂层
C03C17/42
至少1个有机材料的涂层和至少1个非金属涂层
法律状态
2012-05-30 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101255580599
IPC(主分类) : C03C 17/42
专利号 : ZL2006100249819
申请日 : 20060323
授权公告日 : 20080130
终止日期 : 20110323
号牌文件序号 : 101255580599
IPC(主分类) : C03C 17/42
专利号 : ZL2006100249819
申请日 : 20060323
授权公告日 : 20080130
终止日期 : 20110323
2008-01-30 ：
授权
2006-11-08 ：
实质审查的生效
2006-09-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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