化学机械抛光系统以及相关的派工管理方法
授权
摘要
电脑上试运行的派工管理方法，包含：产生多组初始化工作调度；根据适应度参数来对所述初始化工作调度进行筛选以产生多组中间工作调度；分别对所述中间工作调度进行交叉运算以产生多组交叉后工作调度；分别对所述中间工作调度以及所述交叉后工作调度的内容进行变异运算以产生多组变异后工作调度；对所述中间工作调度、交叉后工作调度以及变异后工作调度进行最佳化运算以产生目标工作调度；以及自动地根据该组目标工作调度来进行对应CMP机台的派工。
基本信息
专利标题 ：
化学机械抛光系统以及相关的派工管理方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN113361833A
申请号 ：
CN202010134312.7
公开（公告）日 ：
2021-09-07
申请日 ：
2020-03-02
授权号 ：
CN113361833B
授权日 ：
2022-05-24
发明人 ：
隋珍玉尹又生徐丙新刘涛谈文毅
申请人 ：
联芯集成电路制造(厦门)有限公司
申请人地址 ：
福建省厦门市翔安区万家春路899号
代理机构 ：
北京市柳沈律师事务所
代理人 ：
李芳华
优先权 ：
CN202010134312.7
主分类号 ：
G06Q10/06
IPC分类号 ：
G06Q10/06 G06Q50/04 G06N3/12
IPC结构图谱
G
G部——物理
G06
计算；推算或计数
G06Q
专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的数据处理系统或方法；其他类目不包含的专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的处理系统或方法
G06Q10/00
行政；管理
G06Q10/06
资源、工作流、人员或项目管理，例如组织、规划、调度或分配时间、人员或机器资源；企业规划；组织模型
法律状态
2022-05-24 ：
授权
2021-09-24 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G06Q 10/06
申请日 : 20200302
申请日 : 20200302
2021-09-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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