自动派工方法及系统以及以此方法制造的集成电路产品
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
本发明提供一种自动派工方法及系统以及以此方法制造的集成电路产品,具体涉及一种计算机可实现的自动派工方法,其适用于以载具进行馈入的批次制程设备中。本发明所提的方法及系统首先将载具的目前占有率与最佳占有率进行比较,当载具的目前占有率小于最佳占有率时,保留载具所载物件的分配信息,并将载具中的物件进行结合。然后,由批次制程设备处理已结合的物件。于处理完成后,根据所保留的分配信息将物件分配于载具中。本发明所述的自动派工方法及系统以及以此方法制造的集成电路产品,有效地解决批次制程设备因载具占有率不足所导致的效能问题。
基本信息
专利标题 :
自动派工方法及系统以及以此方法制造的集成电路产品
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1763666A
申请号 :
CN200510105191.9
公开(公告)日 :
2006-04-26
申请日 :
2005-09-30
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
梁柏雄许显荣汪明
申请人 :
台湾积体电路制造股份有限公司
申请人地址 :
台湾省新竹科学工业园区新竹市力行六路八号
代理机构 :
北京林达刘知识产权代理事务所
代理人 :
刘新宇
优先权 :
CN200510105191.9
主分类号 :
G05B15/02
IPC分类号 :
G05B15/02 G06F17/00 G06F17/30 H01L21/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G05
控制;调节
G05B
一般的控制或调节系统;这种系统的功能单元;用于这种系统或单元的监视或测试装置
G05B15/00
计算机控制系统
G05B15/02
电的
法律状态
2009-02-11 :
发明专利申请公布后的视为撤回
2006-06-14 :
实质审查的生效
2006-04-26 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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