FAB内基于设备作业特性的智能派工方法与系统
公开
摘要

一种FAB内基于设备作业特性的智能派工方法,包括:获得当站需派工的Lot和设备,根据设备特性和Lot特殊需求对机组群所需判定的派工规则进行命名;建立规则池,进一步包括通用规则和特殊规则;根据每条规则定义若干项派工规则项,并组建优先等级作为常规生产型派工标准;根据生产线需求,构筑目标导向型派工标准,并定义启动机制;每台设备派工时检测启动机制,根据启动机制自动选择使用标准。本发明通过执行规则池建立,常规生产型派工标准组建,目标导向型派工标准构筑,以及派工标准人工智能化选择不仅可以实时获取设备及Lot信息,对设备实时进行派工调度,提高设备派工时效性与准确性,而且降低产品品质风险,值得业界推广使用。

基本信息
专利标题 :
FAB内基于设备作业特性的智能派工方法与系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114298546A
申请号 :
CN202111629482.3
公开(公告)日 :
2022-04-08
申请日 :
2021-12-28
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
刘欣欣何瑜张峰程杰艾伟光曹心宇
申请人 :
上海华力微电子有限公司
申请人地址 :
上海市浦东新区良腾路6号
代理机构 :
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
周耀君
优先权 :
CN202111629482.3
主分类号 :
G06Q10/06
IPC分类号 :
G06Q10/06  G06Q10/10  G06F16/904  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G06
计算;推算或计数
G06Q
专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的数据处理系统或方法;其他类目不包含的专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的处理系统或方法
G06Q10/00
行政;管理
G06Q10/06
资源、工作流、人员或项目管理,例如组织、规划、调度或分配时间、人员或机器资源;企业规划;组织模型
法律状态
2022-04-08 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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