一种隧穿式MEMS气压传感器及其用途
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摘要
本发明涉及一种隧穿式MEMS气压传感器及其用途。所述隧穿式MEMS气压传感器包括基底和依次设置于所述基底上的环状金属电极和石墨烯薄膜；所述石墨烯薄膜覆盖环状金属电极的中空腔体，且所述石墨烯薄膜的边缘设置在环状金属电极上。本发明首次将石墨烯材料运用到隧穿型气压传感器中，相比于普通金材料电极，石墨烯材料可以有效避免电迁移现象，提高气压传感器的寿命；同时由于隧穿电流在纳米级尺寸的电极尖端产生，气压传感器易于小型化，可以根据使用需求设计电极的尺寸与形状，设计原理相同的各种隧穿电流式气压传感器。
基本信息
专利标题 ：
一种隧穿式MEMS气压传感器及其用途
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111693201A
申请号 ：
CN202010529849.3
公开（公告）日 ：
2020-09-22
申请日 ：
2020-06-11
授权号 ：
CN111693201B
授权日 ：
2022-04-12
发明人 ：
宋学锋刘絮李成
申请人 ：
南方科技大学
申请人地址 ：
广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号
代理机构 ：
北京品源专利代理有限公司
代理人 ：
潘登
优先权 ：
CN202010529849.3
主分类号 ：
G01L9/00
IPC分类号 ：
G01L9/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L9/00
用电或磁的压敏元件测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力；用电或磁的方法传递或指示机械压敏元件的位移，该机械压敏元件是用来测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力的
法律状态
2022-04-12 ：
授权
2020-10-20 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01L 9/00
申请日 : 20200611
申请日 : 20200611
2020-09-22 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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