多波长真空紫外及深紫外相干光源的产生装置与方法

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摘要

一种多波长真空紫外及深紫外相干光源的产生装置与方法。其主要元件包括：近红外飞秒激光器、分束片、延时线、缩束系统、倍频晶体、二分之一波片、四分之一波片、聚焦透镜、气腔、滤波片等。在该装置中，近红外飞秒激光经过一块分束片分成两束光，一束作为近红外泵浦光，另一束用于产生波长可调谐的紫外泵浦光。近红外泵浦光在CO气腔中进行分子电离和双光子共振激发，并与紫外泵浦光进行共振四波混频输出窄带DUV/VUV相干辐射。通过改变紫外泵浦光的椭圆偏振度，可以产生任意偏振态的窄带DUV/VUV相干辐射。本发明能够实现多个波长、窄线宽、偏振灵活可控的窄带DUV/VUV相干辐射。

基本信息

专利标题：

多波长真空紫外及深紫外相干光源的产生装置与方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN111929962A

申请号：

CN202010609181.3

公开（公告）日：

2020-11-13

申请日：

2020-06-29

授权号：

CN111929962B

授权日：

2022-05-31

发明人：

程亚姚金平万悦芯刘招祥许波陈锦明张方波张志豪

申请人：

中国科学院上海光学精密机械研究所

申请人地址：

上海市嘉定区清河路390号

代理机构：

上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙)

代理人：

张宁展

优先权：

CN202010609181.3

主分类号：

G02F1/35

IPC分类号：

G02F1/35