本发明提供一种基于激光相干合成的太赫兹波产生系统，包括：激光相干合成子系统、焦场探测子系统、太赫兹波发产生子系统以及数控终端子系统；通过设置激光相干合成子系统对多路激光进行放大和光束整形，获得更强大稳定和精确的激光束，以产生更强的太赫兹波源。基于空气法产生太赫兹波源，能够根据需要选择产生太赫兹波的空间位置，并且可以对太赫兹波的指向、偏振、发散角和强度参数进行调控。所述系统基于模块化设计，结构简单，容易维护，能够根据实际需要产生不同种类的特殊光束以及不同强度及分布的太赫兹波。