一种用于控制三维转台温度及变形的控制装置
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摘要

本发明属于真空探测器温控技术领域,具体涉及一种用于控制三维转台温度及变形的控制装置,其包括隔热装置和控温装置,所述隔热装置包括由隔热材料制成的隔热层,所述隔热层包裹于真空探测器,所述控温装置包括设于真空探测器上的温度传感器、换热剂、用于承装换热剂的存储罐、分布固定于真空探测器热源处的温控片、用于连接各温控片和用于回流的导管、与所导管和存储罐连接的动力泵,所述温度传感器连接有控制器,所述温控器电连接动力泵用于控制换热剂的流量;所述控温装置还包括用于控制换热剂恒温的辅助系统。本发明通过结构的创新设计,不仅降低了热变形对转台精度的影响,而且相对于传动的方法节约了成本,其经济性好。

基本信息
专利标题 :
一种用于控制三维转台温度及变形的控制装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN111880584A
申请号 :
CN202010757253.9
公开(公告)日 :
2020-11-03
申请日 :
2020-07-31
授权号 :
CN111880584B
授权日 :
2022-04-05
发明人 :
魏巍秦高林段俊法程方杨芸箔李瑶
申请人 :
华北水利水电大学
申请人地址 :
河南省郑州市金水区北环路36号
代理机构 :
河南大象律师事务所
代理人 :
侯喜立
优先权 :
CN202010757253.9
主分类号 :
G05D23/20
IPC分类号 :
G05D23/20  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G05
控制;调节
G05D
非电变量的控制或调节系统
G05D23/00
温度的控制
G05D23/19
以使用电装置为特征的
G05D23/20
具有随温度变化而产生电或磁性质变化的传感元件
法律状态
2022-04-05 :
授权
2020-11-20 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G05D 23/20
申请日 : 20200731
2020-11-03 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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