一种SC切型石英晶片在线研磨测频系统的跟踪测频方法
授权
摘要
本发明公开了一种SC切型石英晶片在线研磨测频系统的跟踪测频方法，包括双频率跟踪功能、单频率跟踪功能、测频参数初始化、扫频参数设置和两个功能之间的切换功能；本发明提供了一种处理效率高、数据精度高，双模频率精准区分的一种SC切型石英晶片在线研磨测频系统的跟踪测频方法。
基本信息
专利标题 ：
一种SC切型石英晶片在线研磨测频系统的跟踪测频方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112162149A
申请号 ：
CN202010942420.7
公开（公告）日 ：
2021-01-01
申请日 ：
2020-09-09
授权号 ：
CN112162149B
授权日 ：
2022-04-08
发明人 ：
潘凌锋郭彬陈浙泊陈一信林建宇余建安陈镇元叶雪旺颜文俊林斌吴荻苇
申请人 ：
浙江大学台州研究院
申请人地址 ：
浙江省台州市市府大道西段618号
代理机构 ：
杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
董世博
优先权 ：
CN202010942420.7
主分类号 ：
G01R23/02
IPC分类号 ：
G01R23/02 G01R29/027 G01R29/033
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R23/00
测量频率的装置；频谱分析装置
G01R23/02
频率测量装置，如脉冲重复率的测量；电流或电压周期的测量装置
法律状态
2022-04-08 ：
授权
2021-01-19 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01R 23/02
申请日 : 20200909
申请日 : 20200909
2021-01-01 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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