一种光斑尺寸和形状的测量方法及装置

授权

摘要

本申请提供一种光斑尺寸和形状的测量方法及装置。所述方法包括：利用狭缝组装置中多个相互之间宽度不存在整数倍关系的透光狭缝对待测量光斑沿目标扫描方向进行扫描，根据目标扫描位置下的目标扫描光功率的傅里叶变换结果以及光功率透过率的傅里叶变换结果，确定目标扫描位置下待测量光斑的光强，根据待测量光斑在目标扫描方向以及另一扫描方向上的光强分布，最终确定待测量光斑的尺寸和形状。如此，本申请实施例采用宽度不存在整数倍关系的多个透光狭缝对待测量光斑进行扫描，并根据扫描光功率的傅里叶变换以及光功率透过率的傅里叶变换确定待测量光斑的光强，测量不受光斑自身尺寸和透光狭缝宽度的影响，可以较准确地测量尺寸较小的光斑。

基本信息

专利标题：

一种光斑尺寸和形状的测量方法及装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN112146851A

申请号：

CN202011034301.8

公开（公告）日：

2020-12-29

申请日：

2020-09-27

授权号：

CN112146851B

授权日：

2022-06-07

发明人：

尹志军崔国新叶志霖许志城

申请人：

南京南智先进光电集成技术研究院有限公司

申请人地址：

江苏省南京市江北新区研创园团结路99号孵鹰大厦690室

代理机构：

北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

逯长明

优先权：

CN202011034301.8

主分类号：

G01M11/02

IPC分类号：

G01M11/02 G01J1/42 G01J1/04