本申请提供一种调试件及利用调试件调试半导体检测设备的调试方法。调试件包括检测面及设置在检测面上的检测图案。检测图案包括以检测面的中心为中心的同心环、穿过检测面的中心的直径线及标定图形。同心环用于检测调试件是否位于半导体检测设备的承载装置的旋转中心。直径线用于检测检测面的中心是否在半导体检测设备的成像装置拍摄到调试件的视场范围的中心线及其延长线上。直径线与同心环相交形成间隔区域。标定图形位于间隔区域，标定图形用于检测半导体检测设备的成像装置的行频是否与承载装置的旋转速度对应。本申请的调试件及调试方法能够利用检测图案调试半导体检测设备，使半导体检测设备检测待检测件时获取的还原图像不失真。