本发明公开了一种半导体设备及其检测方法，首先通过控制面型数据采集设备采集当前区域的面型数据；接着获取当前区域的面型数据，并根据面型数据，控制线扫设备对当前区域进行追焦扫描，以对当前区域进行拍照形成至少一张线扫图像；其中，在当前区域的当前张线扫图像拍照完成的同时，获取当前张线扫图像，并对当前张线扫图像进行识别和处理；并在当前区域的最后一张线扫图像拍照完成的同时，控制面型数据采集设备开始采集下一区域的面型数据；最后，直至最后一区域的最后一张线扫图像被识别和处理，检测结束；由此，使得整个检测过程的效率得到提升。